真空機器81件
プラズマリアクター
ヤマト科学 Yamato PR510
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ドライエッチング装置
パナソニック Panasonic E620R
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スパッタリング
芝浦メカトロニクス SWM-5000-51
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アッシング装置
キヤノン Canon MAS8000
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酸化膜形成装置
サムコ Samco PD-270STL
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プラズマCVD装置
Asm EAGLE10
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イオンスパッタ装置
日本電子 Jeol JUC-5000
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蒸着装置
キヤノントッキ CME-70
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エッチング装置
パナソニック Panasonic E620R
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ドライエッチング装置
パナソニック Panasonic APX300
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スパッタリング装置
キヤノンアネルバテクニクス E-400S
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アッシング装置
KOKUSAI ELECTRIC RAM-6500R
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プラズマリアクター
ヤマト科学 Yamato PR510
カテゴリー:アッシング装置 / 仕様…
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蒸着装置
キヤノントッキ CME-70
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スパッタリング装置
アルバック Ulvac SIH-450
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ドライエッチング装置
アルバック Ulvac NE-550EX
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エッチング装置
パナソニック Panasonic E650I
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プラズマリアクター
ヤマト科学 Yamato PR510
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スパッタリング装置
アルバック Ulvac SV-6040-T14
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ドライエッチング装置
アルバック Ulvac NE-550EX
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エッチング装置
サムコ Samco RIE-200NL
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プラズマリアクター
ヤマト科学 Yamato PR510
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スパッタリング装置
神港精機 SPZM6121
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エッチング装置
サムコ Samco RIE-200NL
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