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プラズマリアクター
ヤマト科学 Yamato 型式 PR510 管理番号 SX-K077-0003
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仕様・詳細
| 機器名 | プラズマリアクター |
|---|---|
| メーカー | ヤマト科学 Yamato |
| 型式 | PR510 |
| 仕様 | カテゴリー:半導体中古装置（前工程）, エッチング装置, アッシング装置 / 仕様（日本語）:方式：DP方式バレル型 制御部 高周波出力：Max.500W 制御部 発振周波数:13.56MHz 制御部 同調方式:オートチューニング 反応部 反応槽:石英製 φ215×305mm 反応部 反応ガス系:2系統（O2/CF4） 反応部 制御系:タッチパネルからの自動シーケンス 反応部 配管系材質:SUS、テフロン 内寸法（径×奥行）:φ215×305mm 外寸法（幅×奥行×高さ）:520×630×760mm 電源容量:三相AC200V 8A ブレーカ容量および電源設備容量 15A 重さ:70kg ドライポンプ 型式：PK250 |
| 製造番号 | 56700017 |
| 数量 | 1 |
| 管理番号 | SX-K077-0003 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 在庫情報の最終確認 | 2026-08-28 |
ご購入の流れ
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商品ID: 8302
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