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ドライエッチング（RIE）
エッチング装置 RIE-200NL
サムコ Samco 管理番号 AX-000156
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仕様・詳細
| 機器名 | エッチング装置 |
|---|---|
| メーカー | サムコ Samco |
| 型式 | RIE-200NL |
| 仕様 | カテゴリー:半導体中古装置（前工程）, エッチング装置 / 仕様（日本語）:ドライポンプ：EV-M20N ドライポンプ：EV-S20P チラー：HRS018-W-20-BM |
| 年式 | 2021.11 |
| 製造番号 | 43A4180 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空機器 |
| 管理番号 | AX-000156 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 反応室 | Al製 400×400×209mm(内径φ340mm) |
|---|---|
| 電極構造 | セミ無遮蔽型平行平板電極、間隔55mm固定 |
| 電極径 | 上部・下部とも φ240mm(SUS製、下部水冷) |
| 高周波電源 | 13.56MHz 水晶発振、最大300W(ソリッドステート)、オートマッチング |
| ガス導入 | MFC 3系統(標準、最大6系統) |
| ロードロック | Al製、トレー自動搬送、角型ゲートバルブ |
| 圧力制御 | 4インチ ゲート式自動圧力コントロールバルブ |
| 搬送トレイ | 石英製 φ225mm(8インチ座繰り) |
| 本体外形(W×D×H) | 546×1533×1580 mm |
出典: メーカー資料
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