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プラズマCVD装置
Asm 型式 EAGLE10 管理番号 SX-M001-0005
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仕様・詳細
| 機器名 | プラズマCVD装置 |
|---|---|
| メーカー | Asm |
| 型式 | EAGLE10 |
| 仕様 | カテゴリー:半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, CVD装置 / 仕様（日本語）:本体：1630×2260×2770mm 本体重量：約2500kg 対象ウェハ：SiC及びSi 6インチ 成膜材料：SiN 成膜精度：面内、ウェハ間、リアクター間ばらつき±3%以内 成膜レート：100nm/min以上 取説書有り 最大流入量：350SLM(処理条件による) |
| 製造番号 | 1225 |
| 数量 | 1 |
| 管理番号 | SX-M001-0005 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 在庫情報の最終確認 | 2026-08-28 |
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商品ID: 8315
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