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スパッタ装置
スパッタリング装置
アルバック Ulvac 型式 SIH-450 管理番号 SX-K048-0001
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仕様・詳細
| 機器名 | スパッタリング装置 |
|---|---|
| メーカー | アルバック Ulvac |
| 型式 | SIH-450 |
| 仕様 | カテゴリー:半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, スパッタリング装置 / 仕様（日本語）:基板ホルダー：φ450 2インチ角基板X8枚 加熱機構：Max250℃(ハロゲンランプ) スパッタ室：W680 D740 H360 取り出し口：W920 D740 H260 基板加熱：3Kw RF電源：1Kw＋3Kw 3φ200V 50Hz |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空機器 |
| 管理番号 | SX-K048-0001 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 在庫情報の最終確認 | 2026-08-28 |
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