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アッシング装置
KOKUSAI ELECTRIC 型式 RAM-6500R 管理番号 SX-M001-0002
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仕様・詳細
| 機器名 | アッシング装置 |
|---|---|
| メーカー | KOKUSAI ELECTRIC |
| 型式 | RAM-6500R |
| 仕様 | カテゴリー:半導体中古装置（前工程）, エッチング装置, アッシング装置 / 仕様（日本語）:ウェハーサイズ：6インチ プロセス方法：1バッチ50枚、一括処理 ■処理条件 ●RFパワー ：800~1000〔W〕 ●圧力 ：0.8～1.0〔Torr〕 ●ガス流動 ：O2＝600～1000〔sccm〕 ●温度設定 ：50～80〔℃〕 電源： φ1 AC100V 15A 50/60Hz PC φ3 AC200V 20A 50/60Hz RF φ3 AC200V 30A 50/60Hz PUMP φ1 AC100V 30A 50/60Hz HEATER 本体寸法：600×1300×1790mm ラック寸法：570×700×1435mm 本体重量：180kg 仕様書、取説書有り |
| 製造番号 | 7635 |
| 数量 | 1 |
| 管理番号 | SX-M001-0002 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 在庫情報の最終確認 | 2026-08-28 |
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商品ID: 8318
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