真空機器81件
プラズマリアクター
ヤマト科学 Yamato PR510
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スパッタリング装置
神港精機 SPZM6121
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スパッタリング装置
神港精機 SPZM6121
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スパッタリング装置
神港精機 SPZM6121
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スパッタリング装置
神港精機 SPZM6121
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スパッタリング装置
キヤノンアネルバテクニクス E-401S
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真空接合機
不明
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イオンクリーナー
日本電子 Jeol JIC-410
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真空チャンバー
¥800,000
イオンコーター
日立 Hitachi E-1030
¥350,000
イオンミリング
M-18 TURBO 1001P
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スパッタ装置
芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL
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蒸着機
アルバック Ulvac
¥800,000
ドライエッチング（RIE）
サムコ Samco RIE-10NR
¥2,200,000
閉鎖系膜形成装置
¥1,200,000
蒸着機
サンユー電子 Sanyu SVC-700
¥500,000
イオンコーター
日立 Hitachi E-1010
¥220,000
イオンコーター
日立 Hitachi E-1010
カーボンコーター付き
¥300,000
イオンミリング装置
日立 Hitachi E-3500
未来産業技研ではイオンミリング装…
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ツインコーター
日本電子 Jeol JEC-550
真空蒸着・コーター・エッチャー・…
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クイックコーター
サンユー電子 Sanyu SC-701-AT
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イオンスパッタ装置
日立 Hitachi E-1020
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真空排気システム
大阪真空機器製作所 TG220FVAB PUMPING UNIT
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真空蒸着装置
アルバック Ulvac VPC-260
ガラスベルジャータイプ（φ300mm×高…
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