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蒸着機
真空蒸着装置 VPC-260
アルバック Ulvac 管理番号 MS-M241210A02
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仕様・詳細
| 機器名 | 真空蒸着装置 |
|---|---|
| メーカー | アルバック Ulvac |
| 型式 | VPC-260 |
| 仕様 | ガラスベルジャータイプ（φ300mm×高さ300mm） 到達圧力：4.0×10-3（1.3×10-3） 基板推奨サイズ：□50mm・□140mm(Max) |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空機器 |
| 管理番号 | MS-M241210A02 |
| 商品NO | 18815（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2026-01-03 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 到達圧力 | 1.3×10⁻³(無負荷清浄時)/ 6.6×10⁻⁴(液体窒素使用) Pa |
|---|---|
| 排気時間 | 4.0×10⁻³Pa まで20分以内(LN2 使用で1.3×10⁻³Pa まで) |
| ベルジャー | ガラス 内径φ300×高さ300mm |
| フィードスルーカラー | 8ポート、内径306×高さ100mm |
| 主排気ポンプ | 油拡散ポンプ F-250(240L/s、VG65) |
| 補助ポンプ | 油回転ポンプ G-100D(100L/min) |
| 蒸着電源 | 単相200V入力、出力0〜10V 最大150A、定格30分 |
| 所要電気量 | 単相100V 1.25kVA / 単相200V 2.0kVA |
| 冷却水 | 1L/min、19〜25℃、200〜300kPa |
| 外形寸法(W×D×H) | 530×480×1135 mm |
| 質量 | 約75(標準型) kg |
出典: メーカー資料
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商品ID: 2061
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