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イオンミリング
イオンミリング装置 E-3500
日立 Hitachi 管理番号 MR-4563
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仕様・詳細
| 機器名 | イオンミリング装置 |
|---|---|
| メーカー | 日立 Hitachi |
| 型式 | E-3500 |
| 仕様 | 未来産業技研ではイオンミリング装置のSDGsに積極的に取り組んでいます |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空機器 |
| 管理番号 | MR-4563 |
| 商品NO | 18812（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2026-01-03 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| イオンガン | 3電極ペニング方式(ホローアノード形) |
|---|---|
| 放電電圧 | 0〜4 kV |
| 加速電圧 | 0〜6 kV |
| 試料ステージ | X・Y 移動、回転、最大30°スイング |
| 使用ガス | アルゴン(純度99.99%以上、0.03〜0.05MPa) |
| ロータリーポンプ | 135/162L/min(単相100V 50/60Hz)、NW40 |
| 電源 | 単相AC100V ±10% 50/60Hz 1.25kVA |
| 質量 | 本体 約45kg / ロータリーポンプ 約28kg |
出典: メーカー資料
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商品ID: 2074
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