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イオンコーター E-1030
日立 Hitachi 管理番号 Z26071011
¥350,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | イオンコーター |
|---|---|
| メーカー | 日立 Hitachi |
| 型式 | E-1030 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空機器 |
| 管理番号 | Z26071011 |
| 商品NO | 19349（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2026-07-13 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 用途 | SEM試料への金属コーティング(帯電防止) |
|---|---|
| 電極 | 対向平行円板(マグネトロン構成)、ターゲット高さ調整つまみ付き |
| 試料サイズ | 最大直径55mm、最大高さ20mm |
| 放電時の真空度 | 6〜8(Arガス導入で一定に保つ) Pa |
| Arガス供給圧 | 0.03〜0.05 MPa |
| 排気 | ロータリーポンプ(VR16-K等)、本体外置き |
| 組込ユニット | 膜厚測定ユニット、電子冷却式試料ステージ冷却ユニット |
| 特別付属装置(オプション) | 試料エッチングユニット、エバポレーションユニット、水冷式試料ステージ冷却ユニット |
| 電源 | 単相AC100V±10% 50/60Hz 15A |
| 設置環境 | 15〜30℃、湿度70%以下。SEM・TEMの近くを避ける |
| 本体寸法(W×D×H) | 508×420×484 mm |
| 質量 | 約56(ロータリーポンプを含む) kg |
出典: メーカー資料、usedsale.jp、bunseki.solan.chubu.ac.jp
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商品ID: 1324
¥350,000
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