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イオンミリング
断面ポリッシャー SM-09010
日本電子 Jeol 管理番号 MR-8043
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仕様・詳細
| 機器名 | 断面ポリッシャー |
|---|---|
| メーカー | 日本電子 Jeol |
| 型式 | SM-09010 |
| 仕様 | イオン加速電圧：2～6kV イオンビーム径：500μm ミリングスピード：約100μm/h 最大試料サイズ：W11×D10×H2mm |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空機器 |
| 管理番号 | MR-8043 |
| 商品NO | 18813（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2026-01-03 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| イオン加速電圧 | 2〜6 kV |
|---|---|
| イオンビーム径 | 500μm(半値幅) |
| ミリングスピード | 1.3μm/min(6kV、Si 換算、エッジ距離100μm) |
| 最大搭載試料サイズ | 幅11×長さ10×厚さ2 mm |
| 試料移動範囲 | X ±3mm / Y ±3mm |
| 試料角度調節範囲 | ±5° |
| 使用ガス | アルゴン |
| 圧力測定 | ペニング真空計 |
| 本体寸法(W×D×H)・質量 | 380×570×520mm、41kg |
| ロータリーポンプ寸法・質量 | 120×280×170mm、10kg |
出典: メーカー資料
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商品ID: 2059
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