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ドライエッチング（RIE） RIE-10NR
サムコ Samco 管理番号 Z26031701
¥2,200,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | ドライエッチング（RIE） |
|---|---|
| メーカー | サムコ Samco |
| 型式 | RIE-10NR |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空機器 |
| 管理番号 | Z26031701 |
| 商品NO | 19001（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2026-03-22 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 方式 | 平行平板型RIE(無遮蔽型、電極間距離55mm半固定) |
|---|---|
| 対応基板 | 最大φ220mm(8インチ×1、4インチ×3、3インチ×5) |
| 反応室 | アルミ製、外寸φ400×170(H)、内径φ340、φ40ビューポート付 mm |
| 電極 | 上下ともアルミ製φ240(下部電極に石英カバーφ250) mm |
| 高周波電源 | 13.56MHz、最大300W(水晶発振ソリッドステート、オートマッチング) |
| 高真空排気 | 複合分子ポンプ 200L/s(N2)・空冷 |
| 補助ポンプ | ロータリーポンプ 208/250L/min(50/60Hz)、フォンブリンオイル仕様 |
| 圧力制御 | 4インチ自動圧力制御バルブ(ゲート型・モーター駆動) |
| 真空計 | ダイアフラム型 266〜0.0133Pa / 全圧計 大気圧〜1×10⁻⁴Pa |
| ガス系 | MFC 2系列(CF4・O2、各最大200sccm・N2校正)、1/4インチVCR溶接配管 SUS316 |
| 基板冷却 | 下部電極ジャケット水冷 |
| 制御 | シーケンサ自動運転+ELタッチパネル、レシピ10個(各4ステップ) |
出典: メーカー資料、samcointl.com
ご購入の流れ
- お問い合わせフォームからご希望(数量・納期・動作確認の要否など)をお知らせください
- 掲載会社から回答通常数日以内に、在庫・状態(動作確認の結果)・送料込みのお見積りをメールでご案内します
- ご注文条件にご納得いただけたら掲載会社へご注文。取り置きのご相談も可能です
- お支払い・出荷多くは前金(出荷前振込)。大学・公的機関は掛け売りに対応できる場合があります
詳しくは ご利用ガイド をご覧ください。
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