プラズマクリーナー
ムサシノ電子 Model. 1020
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イオンスパッタ装置
日立 Hitachi E-1020
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真空排気システム
大阪真空機器製作所 TG220FVAB PUMPING UNIT
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真空蒸着装置
アルバック Ulvac VPC-260
ガラスベルジャータイプ（φ300mm×高…
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オスミウム・プラズマコーター
NL-OPC60N
型式：NL-OPC60N
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断面ポリッシャー
日本電子 Jeol SM-09010
イオン加速電圧：2～6kV イオンビー…
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スクロールポンプ
アルバック Ulvac DIS-251
到達真空度：7~(Pa) 排気速度：250(…
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ドライポンプ
荏原製作所 Ebara A07V
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カーボンコーター
日本電子 Jeol JEC-560
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冷却水循環装置
オリオン機械 Orion RKED9000A-V
空冷式チラー – 冷却水循環装置
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スクロールポンプ
アネスト岩田 DVSL-500CS1
排気速度：430/520(L/min)(50Hz/60H…
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ドライポンプ
荏原製作所 Ebara AA10 v1
型式：AA10 v1
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クイックコーター
サンユー電子 Sanyu SC-701S
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スクロールポンプ
アネスト岩田 ISP-250C
到達真空度：7~(Pa) 排気速度：250(…
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ドライポンプ
アルバック Ulvac LR90
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クイックコーター
サンユー電子 Sanyu SC-701 MKⅡ
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プッシュプルゲージ
イマダ(今田製作所) DPXH-200TR
¥50,000
ロータリーポンプ
エドワーズ Edwards RV3
三相200V
¥50,000
防振台
ヘルツ工業 Herz DT-6050M-A
¥30,000
DC電源
アドバンスドエナジー AE MDX-5K M/N3152011-054H
¥150,000
HF電源
京三製作所 Kyosan HFK15Z-SZ2
1.5KW 250kHz
¥300,000
定電圧電源
松定プレシジョン Matsusada TA-205
¥30,000
DC安定化電源
高砂製作所 Takasago EX-750H2
¥30,000
プッシュプルゲージ
イマダ(今田製作所) ZP-500N
¥50,000
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