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DC電源 MDX-5K  M/N3152011-054H

アドバンスドエナジー AE 管理番号 Z25121607
¥150,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細

機器名DC電源
メーカーアドバンスドエナジー AE
型式MDX-5K  M/N3152011-054H
数量1
カテゴリー真空コンポーネント
管理番号Z25121607
商品NO18772(旧サイトの番号)
掲載日2025-12-16
最終取得日2026-10-10

参考仕様(型式一般)

メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。

種別DCマグネトロンスパッタ用電源(Advanced Energy MDX 5K)
出力電力5 kW
出力電圧0〜1000 V
出力電流0〜10 A
出力電圧・電流(STD-Zタイプ、タップ切替)TAP#1 0〜600V/0〜10A、#2 0〜800V/0〜8A、#3 0〜1000V/0〜6.25A
入力電源三相208VAC±10% 50/60Hz(20A)+単相115VAC±10%
出力リップル5% RMS(リップル周波数50kHz)
状態表示ARC / SETPOINT / OUTPUT / POWER / TEMPERATURE(前面LED)

出典: ircforall.net、メーカー資料

ご購入の流れ

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  3. ご注文条件にご納得いただけたら掲載会社へご注文。取り置きのご相談も可能です
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商品ID: 1161

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