ツインコーター
日本電子 Jeol JEC-550
真空蒸着・コーター・エッチャー・…
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クイックコーター
サンユー電子 Sanyu SC-701-AT
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イオンスパッタ装置
日立 Hitachi E-1020
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クイックコーター
サンユー電子 Sanyu SC-701S
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クイックコーター
サンユー電子 Sanyu SC-701 MKⅡ
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イオンミリング装置
日立 Hitachi E-3500
未来産業技研ではイオンミリング装…
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断面ポリッシャー
日本電子 Jeol SM-09010
イオン加速電圧：2～6kV イオンビー…
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オスミウム・プラズマコーター
日本レーザー電子 NL-OPC60N
型式：NL-OPC60N
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カーボンコーター
日本電子 Jeol JEC-560
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真空排気システム
大阪真空機器製作所 TG220FVAB PUMPING UNIT
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真空蒸着装置
アルバック Ulvac VPC-260
ガラスベルジャータイプ（φ300mm×高…
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スクロールポンプ
アルバック Ulvac DIS-251
到達真空度：7~(Pa) 排気速度：250(…
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スクロールポンプ
アネスト岩田 DVSL-500CS1
排気速度：430/520(L/min)(50Hz/60H…
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スクロールポンプ
アネスト岩田 ISP-250C
到達真空度：7~(Pa) 排気速度：250(…
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ドライポンプ
荏原製作所 Ebara A07V
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ドライポンプ
荏原製作所 Ebara AA10 v1
型式：AA10 v1
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ドライポンプ
アルバック Ulvac LR90
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RF電源
ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
定格出力：1kW 周波数：13.56MHz
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プラズマクリーナー
ムサシノ電子 Model. 1020
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冷却水循環装置
オリオン機械 Orion RKE15000A-V
冷却能力：48kW
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冷却水循環装置
オリオン機械 Orion RKED9000A-V
空冷式チラー – 冷却水循環装置
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