真空機器46件
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スパッタリング装置
神港精機 SPZM6121
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スパッタリング装置
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スパッタリング装置
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スパッタリング装置
キヤノンアネルバテクニクス C-7500L
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イオンスパッタ装置
日本電子 Jeol JUC-5000
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スパッタリング装置
アルバック Ulvac MNS-2000-DC(S)
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スパッタリング装置
キヤノンアネルバテクニクス L-210S-FH
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スパッタリング装置
キヤノンアネルバテクニクス E-400S
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スパッタリング装置
アルバック Ulvac SIH-450
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スパッタリング装置
アルバック Ulvac SV-6040-T14
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スパッタリング装置
メンテナンスリサーチ MRC P603
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スパッタリング装置
神港精機 SPZM6121
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スパッタリング装置
神港精機 SPZM6121
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スパッタリング装置
神港精機 SPZM6121
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スパッタリング装置
神港精機 SPZM6121
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スパッタリング装置
キヤノンアネルバテクニクス E-401S
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真空チャンバー
¥800,000
イオンコーター
日立 Hitachi E-1030
¥350,000
イオンミリング
M-18 TURBO 1001P
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スパッタ装置
芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL
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蒸着機
アルバック Ulvac
¥800,000
ドライエッチング（RIE）
サムコ Samco RIE-10NR
¥2,200,000
閉鎖系膜形成装置
¥1,200,000
蒸着機
サンユー電子 Sanyu SVC-700
¥500,000
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