真空機器11件
真空チャンバー
¥800,000
イオンコーター
日立 Hitachi E-1030
¥350,000
蒸着機
アルバック Ulvac
¥800,000
ドライエッチング（RIE）
サムコ Samco RIE-10NR
¥2,200,000
閉鎖系膜形成装置
¥1,200,000
蒸着機
サンユー電子 Sanyu SVC-700
¥500,000
イオンコーター
日立 Hitachi E-1010
¥220,000
イオンコーター
日立 Hitachi E-1010
カーボンコーター付き
¥300,000
バレル型アッシャー
プラズマシステム DES-112-304EH
¥800,000
マグネトロンスパッタ
真空デバイス MSP-1S
¥220,000
スパッタ装置
芝浦メカトロニクス BM-700
¥5,000,000
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