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スパッタ装置
マグネトロンスパッタ MSP-1S
真空デバイス 管理番号 Z25070107
¥220,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | マグネトロンスパッタ |
|---|---|
| メーカー | 真空デバイス |
| 型式 | MSP-1S |
| 年式 | 2012年 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空機器 |
| 管理番号 | Z25070107 |
| 商品NO | 18382（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2025-07-02 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 方式 | マグネトロン低電圧放電クールスパッタ、オートコーティング |
|---|---|
| 電源 | AC100V 単相 10A |
| ロータリーポンプ | 20(内蔵) L/min |
| 到達真空度 | RP単体2、コーティング室4 Pa |
| 試料室 | 内径120×深さ55(硬質ガラス) mm |
| ターゲット電極 | 外径55mm、ターゲット面積20cm²、永久磁石内蔵マグネトロン型 |
| ターゲット金属 | Au-Pd(標準)、オプション Au / Pt-Pd / Pt |
| 試料台 | 直径50mm、フローティング方式。ターゲット間隔25mm標準(最大35mm) |
| 寸法 | 200(W)×340(D)×350(H) mm |
| 質量 | 14 kg |
出典: メーカー資料
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商品ID: 1084
¥220,000
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