膜厚計
膜厚測定機 VM-2210
SCREEN 管理番号 AX-001426
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仕様・詳細
| 機器名 | 膜厚測定機 |
|---|---|
| メーカー | SCREEN |
| 型式 | VM-2210 |
| 仕様 | カテゴリー:検査・分析装置, 膜厚計(膜厚測定装置) / 仕様(日本語):膜厚のみ 測定方式: 光干渉式 用途: 半導体ウェーハ等の薄膜膜厚測定 対応ウェーハ: 4インチ対応 測定対象: フォトレジスト、酸化膜等の薄膜 測定: 非接触・非破壊による膜厚測定 |
| 年式 | 2015 |
| 製造番号 | 110L08655A |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 計測、計量機 |
| 管理番号 | AX-001426 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
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