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膜厚計
触針式プロファイリングシステム 膜厚段差・粗さ計測 Dektak XTL
Bruker 管理番号 RL-556
¥3,500,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | 触針式プロファイリングシステム 膜厚段差・粗さ計測 |
|---|---|
| メーカー | Bruker |
| 型式 | Dektak XTL |
| 仕様 | 寸法：約 W97.8 D95.4 H171.4 cm ※本体のみ 重量：約 272kg |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 計測、計量機 |
| 管理番号 | RL-556 |
| 商品NO | 19142（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2026-05-01 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 測定方式 | 触針式(スタイラス)プロファイラ |
|---|---|
| スキャン長 | 50µm〜55mm(スティッチングで最大150mm) |
| 垂直分解能 | 0.1nm(測定レンジ6.5µm時)、1nm(65.5µm時) |
| 最大段差 | 1 mm |
| 触針押し付け力 | 0.3µN〜0.15mN(0.03〜15mgf) |
| 試料サイズ | 12インチウェーハ、350mm角までのパネル |
出典: bruker.com
ご購入の流れ
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商品ID: 2105
¥3,500,000
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