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膜厚計
薄膜測定装置 F50
Filmetrics 管理番号 AX-000731
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仕様・詳細
| 機器名 | 薄膜測定装置 |
|---|---|
| メーカー | Filmetrics |
| 型式 | F50 |
| 仕様 | カテゴリー:理化学機器, 測定装置 / 仕様（日本語）:対応ウェハサイズ 最大 300 mm（12インチ） 測定対象 薄膜（酸化膜、窒化膜、フォトレジスト、ポリマー、SiO₂、Si₃N₄ など） 測定範囲 約 300 Å ～ 50 µm 精度 ±0.4％ または ±20 Å（公称） |
| 製造番号 | 09F004 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 計測、計量機 |
| 管理番号 | AX-000731 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 測定方式 | 分光反射率法 |
|---|---|
| 膜厚測定範囲(標準 F50) | 20nm〜70μm |
| 波長範囲(標準 F50) | 380〜1050nm |
| 精度(標準 F50) | 2nm または 0.2% の大きい方 |
| スポット径 | 1.5mm(オプションで150μm まで) |
| ステージ | 電動 R-θ、最速2点/秒 |
| 電源 | AC100〜240V 50/60Hz 100W |
| 外形寸法(W×D×H) | 355×483×280 mm |
| 質量 | 16 kg |
出典: kla.com
ご購入の流れ
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