膜厚計
段差式膜厚測定器 Dektak8
アルバック Ulvac 管理番号 AX-000110
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仕様・詳細
| 機器名 | 段差式膜厚測定器 |
|---|---|
| メーカー | アルバック Ulvac |
| 型式 | Dektak8 |
| 仕様 | カテゴリー:検査・分析装置, 膜厚計(膜厚測定装置) / 仕様(日本語):8インチウェーハ 電源: 単相 50-60Hz 100~120V 5A 220~240V 3A |
| 製造番号 | 23099 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 計測、計量機 |
| 管理番号 | AX-000110 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様(型式一般)
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 測定方式 | 触針式(接触) |
|---|---|
| 垂直測定範囲 | 262μm(分解能1Å は6.55μmレンジ時) |
| 最大走査長 | 50 mm |
| 段差再現性 | 7.5Å(1σ) |
| 試料サイズ | 200mm(8インチ)まで |
出典: nanolab.ucla.edu
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