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アライナー
マスクアライナー MA-20
ミカサ 管理番号 MS-M240310A07
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仕様・詳細
| 機器名 | マスクアライナー |
|---|---|
| メーカー | ミカサ |
| 型式 | MA-20 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 半導体関連 |
| 管理番号 | MS-M240310A07 |
| 掲載日 | 2026-08-29 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 対応ウエハーサイズ | φ1〜4 inch |
|---|---|
| ウエハー厚さ | 200〜400 µm |
| マスクサイズ | 2 / 2.5 / 3 / 4 / 5 inch |
| 露光光源 | 超高圧水銀灯 500W |
| 照度ムラ | ±4%以内 |
| 有効照射面 | φ4 inch |
| 露光シャッター | ソレノイド式、タイマー0〜999.9秒/積算光量計切換 |
| 観察装置 | 双対物型双眼顕微鏡 100×・200× |
| 電源 | AC100V 50/60Hz 20A MAX(定常15A) |
| N2またはドライエア | 最大0.7MPa(通常0.5MPa) |
| 外形寸法(本体 W×H×D) | 750×650×800 mm |
| 質量(本体) | 約180 kg |
| 質量(専用架台) | 約110 kg |
出典: メーカー資料
ご購入の流れ
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商品ID: 10448
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