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アライナー PLA-501F
キヤノン Canon 管理番号 Z20012750
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仕様・詳細
| 機器名 | アライナー |
|---|---|
| メーカー | キヤノン Canon |
| 型式 | PLA-501F |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 半導体関連 |
| 管理番号 | Z20012750 |
| 掲載日 | 2026-08-19 |
| 最終取得日 | 2026-10-12 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 方式 | プロキシミティ/ハードコンタクト(真空)/ソフトコンタクト 切替 |
|---|---|
| 対応ウェハーサイズ(標準構成から選択) | 3 / 4 / 5 インチ |
| 最大焼付け面積 | φ125 mm |
| フォトマスクサイズ(標準構成から選択) | □4 / □5 / □6 インチ |
| 光源 | 250W 超高圧水銀灯(ウシオ) |
| 光質 | g線(436nm)・h線(405nm)・i線(365nm)の混合 |
| 照明範囲 | φ136 mm |
| 照度むら(φ125mm内) | 幅6 % |
| 像面照度(405nm受光部で測定) | 約12.6以上 mW/cm2 |
| 焼付けギャップ(プロキシミティ) | 0〜48(2μm単位) μm |
| アライメントギャップ | 0〜98(2μm単位) μm |
| 露光時間設定範囲 | 0.1〜59.9 秒 |
| 露光量繰返精度 | ±3 % |
| 本体寸法・質量 | W940×D800×H730・160kg(専用机共 W1100×D820×H1350・225kg) mm |
| 所要電源(本体/水銀灯点灯装置) | AC100/117/220/240V 350VA以上 / AC100・115V 550VA(点灯初期800VA) |
ご購入の流れ
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商品ID: 7827
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