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アライナー PLA-501
キヤノン Canon 管理番号 Z26031703
¥1,200,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | アライナー |
|---|---|
| メーカー | キヤノン Canon |
| 型式 | PLA-501 |
| 備考 | Ohせず、現状にて販売 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 半導体関連 |
| 管理番号 | Z26031703 |
| 商品NO | 19003（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2026-03-22 |
| 最終取得日 | 2026-10-12 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 露光方式 | プロキシミティ/コンタクト(真空密着)切替 |
|---|---|
| 対応フォトマスク | 3″・4″・5″・6″ |
| 対応ウエハ | 2″・3″・4″・5″(SEMI規格) |
| 照度均一性 | ±3 % |
| アライメントギャップ/プロキシミティギャップ | 0〜98/0〜48 µm |
| アライメントスコープ | 対物×10、接眼×10・×15、スプリット視野、XY走査±8mm |
| アライメント方式 | FA: オートアライメント(許容±0.5/±1.0/±2.0µm、約10秒)、F: マニュアル |
| アライメント調整 | XY 粗動4:1・微動100:1、θ ±5°(自動調心機構付き) |
| オートフィーダ | GCAまたはテフロンキャリア(3/16″ピッチ・25枚) |
| サイクルタイム | 約30(アライメント10秒・露光1秒の場合) 秒 |
| 電源 | 本体AC110V/240V、水銀灯電源ボックス800VA以上 |
| ユーティリティ | 高圧エア3.5kg/cm²以上・低圧エア2.5kg/cm²以上・窒素1kg/cm²以上・真空45〜76cmHg |
| 外形寸法(W×D×H) | 940×800×724(本体)/1100×820×1344(専用机共) mm |
| 質量 | 225(FA・専用机共)/210(F・専用机共) kg |
出典: メーカー資料
ご購入の流れ
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商品ID: 1232
¥1,200,000
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