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アライナー PLA-501S
キヤノン Canon 管理番号 Z22101301
¥3,000,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | アライナー |
|---|---|
| メーカー | キヤノン Canon |
| 型式 | PLA-501S |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 半導体関連 |
| 管理番号 | Z22101301 |
| 掲載日 | 2026-08-19 |
| 最終取得日 | 2026-10-12 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 露光方式 | プロキシミティ/ハードコンタクト/ソフトコンタクト(切替) |
|---|---|
| 光源(超高圧水銀灯) | 250 W |
| 露光波長 | g線436・h線405・i線365 nm |
| 照度ムラ | 6以下(φ125mm内)/10以下(φ136mm内) % |
| 像面照度 | 約13以上 mW/cm² |
| 露光時間設定 | 0.1〜59.9 s |
| 露光量繰返し精度 | ±3 % |
| アライメントギャップ/焼付けギャップ | 0〜98/0〜48(2µm単位) µm |
| 対応ウエハ | 3インチ(φ76)・4インチ(φ100)が標準、専用チャックでφ2″〜φ5″ |
| 対応フォトマスク | □3″〜□6″(マスクホルダーで選択) |
| アライメント可動範囲 | XY φ10mm(粗動4:1・微動100:1)、θ ±5° |
| 電源 | 本体AC100/117/220/240V 50/60Hz 350VA以上、水銀灯点灯装置AC100/115V 600VA(点灯初期1200VA) |
| ユーティリティ | 窒素0.1MPa以上・高圧エア0.35MPa以上・低圧エア0.25MPa以上・真空45〜76cmHg |
| 外形寸法(W×D×H) | 1,100×820×1,344(専用机共) mm |
| 質量 | 225(専用机共) kg |
出典: メーカー資料
ご購入の流れ
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商品ID: 7883
¥3,000,000
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