走査電子顕微鏡(SEM) SU1510
日立 Hitachi 管理番号 Z24052101
¥3,500,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | 走査電子顕微鏡(SEM) |
|---|---|
| メーカー | 日立 Hitachi |
| 型式 | SU1510 |
| 年式 | 2014年 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 分析機器 |
| 管理番号 | Z24052101 |
| 商品NO | 18164(旧サイトの番号) |
| 掲載日 | 2024-06-18 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様(型式一般)
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 二次電子像分解能 | 3.0(30kV・WD5mm・高真空)/15(3kV・WD5mm・高真空) nm |
|---|---|
| 反射電子像分解能 | 4.0(30kV・WD5mm・6Pa) nm |
| 倍率 | 5〜300,000 倍 |
| 電子源 | タングステンヘアピンフィラメント(プリセンタードカートリッジ) |
| 加速電圧 | 0.3〜30 kV |
| 検出器 | 二次電子検出器、4分割半導体反射電子検出器(高真空・低真空) |
| 低真空の圧力設定範囲 | 6〜270(22段) Pa |
| 到達圧力 | 1.5×10⁻³ Pa |
| 排気系 | ターボ分子ポンプ250L/s+ロータリーポンプ135/162L/min(50/60Hz) |
| 試料ステージ | 5軸マニュアル(X 0〜80mm・Y 0〜40mm・Z 5〜50mm・R 360°・T -20〜90°) |
| 最大試料サイズ | 153(全域観察は126) mm径 |
| X線分析位置 | WD15mm・取出角35° |
| 電源 | 単相AC100V 2kVA 50/60Hz |
| 所要面積 | 1.7×2.0 m |
| 設置機器の総質量 | 472 kg |
出典: メーカー資料
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