RF電源 RFS-05C
アルバック Ulvac 管理番号 Z19071116
¥250,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | RF電源 |
|---|---|
| メーカー | アルバック Ulvac |
| 型式 | RFS-05C |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z19071116 |
| 商品NO | 10462(旧サイトの番号) |
| 掲載日 | 2019-07-18 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様(型式一般)
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 種別 | プラズマ用RF電源(RF GENERATOR) |
|---|---|
| 周波数 | 13.56 MHz |
| 出力 | 500 W |
| 前面表示 | POWER / INT.LOCK / RF ON / OVER POW / FAILURE、積算時間計 |
出典: ircforall.net
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