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RF電源 RFS-13100L
アルバック Ulvac 管理番号 Z241011019
¥1,200,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | RF電源 |
|---|---|
| メーカー | アルバック Ulvac |
| 型式 | RFS-13100L |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z241011019 |
| 商品NO | 18577（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2025-10-05 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 発振周波数 | 13.56 MHz |
|---|---|
| 定格出力 | 10 kW |
| 電源 | AC三相 200/220V 50/60Hz 44A |
| 冷却方式 | 水冷 8L/min |
| 質量 | 70 kg |
| 出力インピーダンス | 50 Ω |
| 組み合わせ機器 | 別体のマッチングボックス(整合器)が必要 |
| 主な用途 | スパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチング |
出典: ircforall.net、showcase.ulvac.co.jp
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商品ID: 1018
¥1,200,000
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