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RF電源 RFS-1305A3
アルバック Ulvac 管理番号 Z26062204
¥250,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | RF電源 |
|---|---|
| メーカー | アルバック Ulvac |
| 型式 | RFS-1305A3 |
| 仕様 | 500W |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z26062204 |
| 商品NO | 19231（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2026-06-29 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 種別 | プラズマ用 RF電源(RFコントローラ付き) |
|---|---|
| 発振周波数 | 13.56 MHz |
| 定格出力 | 500 W |
| 入力容量 | 1.3 kVA |
| 前面操作部 | RF ON/OFF、TUNE DOWN/UP、MATCH DOWN/UP、DEC・INC・PREV・NEXT、表示窓 |
| 表示灯 | POWER、RF ON |
| 製造 | ULVAC, Inc.(日本製) |
出典: ircforall.net
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商品ID: 1306
¥250,000
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