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RF電源 PRF-125C-1
アネルバ ANELVA 管理番号 Z18032065
¥400,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | RF電源 |
|---|---|
| メーカー | アネルバ ANELVA |
| 型式 | PRF-125C-1 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z18032065 |
| 商品NO | 9290（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2018-05-16 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 出力周波数 | 13.56(水晶発振、精度±2.0kHz以下) MHz |
|---|---|
| 定格出力電力 | 1.2(制御範囲0〜1.2kW) kW |
| 定格 | 連続 |
| 制御方式 | 入力電力による定電力制御(CONSTANT POWER)/外部検出信号によるELECTRODE SENSING |
| 出力制御精度 | 設定値に対して最大定格の±2%以内(進行波電力精度±5%以内) |
| 出力インピーダンス/コネクタ | 50Ω、HN型同軸コネクタ |
| 出力設定 | TUNE/REMOTE(外部0〜10V)/LOCAL(コントローラのUP・DOWNキー) |
| 外部出力信号 | 入射電力0〜1.2kW、反射電力0〜240WをDC0〜10Vで出力 |
| 反射電力保護 | 反射電力が250W以上にならないよう入射電力を制御 |
| 交流入力 | 三相4線式 200V±10% 50/60Hz、入力容量2.6kVA |
| 冷却 | 強制風冷 |
| 形式 | ラックマウント形。本体(PRF-125C)+RF P.S.コントローラ(PSC-111) |
| 使用環境 | +5〜+40℃、35〜85% |
| 外形寸法(本体) | 480W×480D×300H mm |
| 外形寸法(コントローラPSC-111) | 209W×48D×100H mm |
出典: メーカー資料
ご購入の流れ
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商品ID: 195
¥400,000
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