マスフローコントローラー（MFC）
エドワーズ Edwards 825
ガスAr 流量50SCCM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
堀場エステック Stec SEF-1R
ガスN2 流量20SLM
¥10,000
マスフローコントローラー（MFC）
堀場エステック Stec SEC-E4400-MO
ガスHCl 流量1LM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
堀場エステック Stec SEC-E440
ガスAr 流量50SCCM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
堀場エステック Stec SEC-7440MC
ガスWF6 流量100SCCM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
堀場エステック Stec SEC-500MK3
ガスO2
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
堀場エステック Stec SEC-500MK3
ガスH2
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
堀場エステック Stec SEC-4400MO-UC
ガスSiH2Cl2 流量200SCCM
¥30,000
タッチパネル
シュナイダーエレクトリッ Proface
¥50,000
シーケンサー
オムロン Omron SYSMAC CJ1M CPU12
¥50,000
タッチパネル
キーエンス Keyence VT3-V8
¥10,000
マスフローコントローラー（MFC）
ミリポア Millipore
He
¥20,000
角型ゲートバルブ
VAT 02110-AA24-AQW1／0057
¥50,000
シーケンサー
オムロン Omron SYSMAC CJ1M CPU13
¥50,000
マスフローコントローラー（MFC）
ミリポア Millipore
He
¥20,000
マスフローコントローラー（MFC）
ミリポア Millipore
¥20,000
マスフローコントローラー（MFC）
ミリポア Millipore
SF6
¥20,000
マスフローコントローラー（MFC）
ミリポア Millipore
N2
¥20,000
圧力コントローラー
MKS 640A-28779
Range 1000Torr
¥20,000
マスフローコントローラー（MFC）
MKS 1480A-25077
N2 40sccm
¥20,000
タッチパネル
デジタル Degital GP477R-EG41-24VP
¥10,000
圧力コントローラー
MKS 640A-28779
Range 1000Torr
¥20,000
タッチパネル
デジタル Degital GP477R-EG41-24VP
¥10,000
タッチパネル
デジタル Degital GP477R-EG41-24VP
¥10,000
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