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マスフローコントローラー（MFC） 1480A-25077
MKS 管理番号 Z20020749
¥20,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラー（MFC） |
|---|---|
| ガス種 | N2 |
| 流量(フルスケール) | 40 SCCM |
| メーカー | MKS |
| 型式 | 1480A-25077 |
| 仕様 | N2 40sccm |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z20020749 |
| 商品NO | 13569（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2021-06-10 |
| 最終取得日 | 2026-10-12 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 校正ガス | N2 |
|---|---|
| 継手 | 4-VCR |
| シリーズ | ALTA Type 1480A（メタルシール型 デジタルMFC） |
| 確度 | 設定値の±1%（F.S.の20〜100%）／F.S.の0.2%（20%F.S.未満） |
| 制御範囲 | F.S.の2〜100% |
| 繰返し精度 | 読み値の0.2% |
| 分解能 | 0.1 %F.S. |
| 最大入口圧力 | 150 psig |
| 整定時間 | 1秒以下（10%F.S.超、代表値） |
| ウォームアップ時間 | 30分以内 |
| 使用温度範囲 | 10〜45 ℃ |
| 電源(アナログI/O版) | ±15VDC±5%（定常250mA、起動時350mA） |
| 入出力信号 | 設定・出力とも DC0〜5V、コネクタ D-sub 9ピン |
| 接ガス部材質 | 316L SS VAR／316 SS／ニッケル／KM-45、バルブシートはKel-F（50sccm以下） |
出典: ircforall.net、api.p1.mks.com
ご購入の流れ
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商品ID: 298
¥20,000
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