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マスフローコントローラー（MFC）
ヤマタケ Yamatake 型式 CMQ-V 管理番号 G020412
¥60,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラー（MFC） |
|---|---|
| メーカー | ヤマタケ Yamatake |
| 型式 | CMQ-V |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | G020412 |
| 掲載日 | 2026-09-06 |
| 最終取得日 | 2026-09-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| バルブ方式 | 比例ソレノイドバルブ |
|---|---|
| バルブ動作 | 非通電時-閉(N.C.) |
| 流量(フルスケール) | 5mL/min〜50L/min(形番による) |
| 校正ガス | 空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10) |
| 制御範囲 | 1〜100%FS |
| 精度 | ±1%FS(50%FS<Q≦100%FS)、±0.5%FS(0%FS≦Q≦50%FS) |
| 再現性 | ±0.5%FS(50%FS<Q≦100%FS)、±0.25%FS(0%FS≦Q≦50%FS) |
| 応答性 | 設定±2%FS以内に0.3s(TYP.) |
| 許容入口圧 | 0.5 MPa(gauge) |
| 耐圧 | 1 MPa(gauge) |
| 動作差圧範囲 | 300kPa以下 |
| 許容動作温度範囲 | -10〜+60 ℃ |
| 接ガス部材質 | SUS316、テフロン、フッ素ゴム |
| 継手 | 9/16-18UNF、Rc1/4、1/4Swagelok、1/4VCR |
| 電源 | DC24V 消費電流300mA以下(許容 DC21.6〜26.4V) |
出典: メーカー資料
ご購入の流れ
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商品ID: 10579
¥60,000
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