ローカルユニット
三菱電機 Mitsubishi QJ61BT11N
カテゴリー:電気部品 / 仕様（日本…
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アナログ入力ユニット
三菱電機 Mitsubishi AJ65VBTCU-68ADVN
カテゴリー:電気部品 / 仕様（日本…
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入出力複合ユニット
三菱電機 Mitsubishi QX48Y57
カテゴリー:電気部品 / 仕様（日本…
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CPU モジュール
三菱電機 Mitsubishi Q13UDEHCPU
カテゴリー:電気部品 / 仕様（日本…
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ウェハー搬送ロボット
伸興 Shinko BX80-070938-13
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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電流表
第一エレクトロニクス XEK‑12NC
カテゴリー:電気部品
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電源ユニット
三菱電機 Mitsubishi Q61P
カテゴリー:電気部品 / 仕様（日本…
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高電圧 EPM 内部アセンブリ
アプライド・マテリアルズ E11525720
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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オートダンバー
イワキ Iwaki PDA-20W
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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分光器
Verity Instruments SD1024GL
カテゴリー:検査・分析装置, 真空機…
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クォーツペデスタル/ダストカバー
日立 Hitachi 2-A11315-B
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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ダクトカバー(EC1用)
日立 Hitachi 2-A11315-A
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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フィルター
東京エレクトロン TEL 024-027118-1
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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表面形状段差測定機
KLA-Tencor P-16
カテゴリー:検査・分析装置, 理化学…
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反射分光膜厚計
大塚電子 FE‑3000
カテゴリー:検査・分析装置, 膜厚計…
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均一化サセプタ(EC2用)
日立 Hitachi 2-A01682-02
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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カセットアセンブリ
アプライド・マテリアルズ E11323340
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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サーボモーター
アプライド・マテリアルズ 3970-00051
カテゴリー:電気部品, サーボモータ…
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冷却ユニット
ニコン Nikon 4K103-651-1AN
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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直動サーボドライバ
THK LSDH6-P
カテゴリー:電気部品, サーボドライ…
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スマートタイプセンサー
理研計器 RIKEN KEIKI GD‑V77D
カテゴリー:電気部品
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リニアサーボドライバー
THK LSDH4‑P
カテゴリー:電気部品, サーボドライ…
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シングル軸コントローラ
アイエイアイ IAI PCON-CB-20PWAI-DV-0-0-DN
カテゴリー:電気部品
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DC電源
ADVANCED ENERGY 0190-54005-03 / 31512411-436
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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