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表面形状段差測定機
KLA-Tencor 型式 P-16 管理番号 SX-K061-0002
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仕様・詳細
| 機器名 | 表面形状段差測定機 |
|---|---|
| メーカー | KLA-Tencor |
| 型式 | P-16 |
| 仕様 | カテゴリー:検査・分析装置, 理化学機器, 測定装置 / 仕様（日本語）:ステップ高さ精度 高精度：再現性 6 Å（0.6 nm） 垂直測定範囲 最大 327 µm（ステップ） 針圧制御 定力制御付き 0.5–50 mg スタイラス先端 半径 約 2 µm（60°） オプティクス デュアルビュー／6.4×光学倍率 ステージ モーター制御によるレベリング・回転、真空保持 サンプル対応 最大 8″ ウェーハ対応 ソフトウェア Apex 2D レポート・シーケンス対応 PC／OS Windows XP ベースのハードウェア構成 動作確認済 正常動作品 動作確認シートあり |
| 製造番号 | 906008696 |
| 数量 | 1 |
| 管理番号 | SX-K061-0002 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 在庫情報の最終確認 | 2026-08-28 |
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