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表面形状測定顕微鏡
表面形状測定器 D150
Veeco 管理番号 AX-001119
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仕様・詳細
| 機器名 | 表面形状測定器 |
|---|---|
| メーカー | Veeco |
| 型式 | D150 |
| 仕様 | カテゴリー:理化学機器, 測定装置, 形状測定機 / 仕様（日本語）:対応ウェハサイズ 最大 150 mm スタイラス先端 12 μm（マイクロチップ） スキャン長 最大 55 mm（連続200 mmのステッチ機能） 垂直分解能 0.1 nm 垂直レンジ 最大 0.5 mm（1 mmオプションあり） ステージ 150 × 150 mm XYステージ、自動または手動切替 垂直追従性 繰り返し 0.6 nm（再現性） ソフトウェア Windows XP 搭載PC + Dektak V9.2解析ソフト（Vision V4.20オプションも） |
| 年式 | 2007.11 |
| 製造番号 | 25165 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 計測、計量機 |
| 管理番号 | AX-001119 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 測定方式 | 接触式(触針式) |
|---|---|
| 最大走査長 | 55 mm |
| 1走査あたりのデータ点数(最大) | 60000 点 |
| 垂直測定範囲(標準) | 524 μm |
| 垂直分解能(6.55μmレンジ) | 0.1 nm |
| 段差再現性(1σ・1μm段差) | 0.6 nm |
| 最大ウェーハサイズ | 150 mm |
出典: cleanrooms.research.ucf.edu
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商品ID: 9354
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