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圧力調整バルブ(APC)
VAT 61532-KEAC-0002/0001
¥120,000
圧力調整バルブ(APC)
VAT 61534-KEAE-AKR1/0002
¥100,000
圧力調整バルブ(APC)
VAT 61532-KECL-AWQ1/0001
CC-LINKコネクタ付
¥100,000
直線導入機
ICF114
¥150,000
直線導入機
ICDF153/VF150/NW40
¥150,000
サーボパック
安川電機 SGDV-3R8A01A
¥20,000
マスフローコントローラー（MFC）
MKS M100B02852CS1BV
ガス：CH4 流量：500SCCM
¥40,000
シーケンサー
三菱電機 Mitsubishi QY40P
¥6,000
ACサーボアンプ
三菱電機 Mitsubishi MR-J2S-10A
¥20,000
タッチパネル
三菱電機 Mitsubishi GOT1000
¥40,000
サーボパック
安川電機 SGDV-3R8A01A
¥20,000
マスフローコントローラー（MFC）
MKS M100B00752CS1BV
ガス：H2 流量：500SCCM
¥40,000
シーケンサー
三菱電機 Mitsubishi QX40
¥5,000
シーケンサー
三菱電機 Mitsubishi QD75D1
¥25,000
シーケンサー
三菱電機 Mitsubishi QY42P
¥15,000
シーケンサー
三菱電機 Mitsubishi QX42
¥10,000
シーケンサー
三菱電機 Mitsubishi Q01UCPU
¥20,000
シーケンサー
三菱電機 Mitsubishi Q61P
¥7,000
ヘリウムリークディテクター
アネルバ ANELVA A-230M-LD
¥1,200,000
ビューポート
160㎜ VF80
¥15,000
アングルバルブ
アルバック Ulvac VULH 150CM
¥80,000
ゲートバルブ
VAT
ISO-F100（外径165㎜）
¥80,000
ヌードゲージ
¥30,000
回転導入機
アネルバ ANELVA
¥30,000
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