パーティクルカウンター
リオン Rion KC-01B
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多関節産業ロボット
ファナック M-10iA
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ヘリウムリークディテクター
ANELVAアネルバ（ALCATELアルカテル） ASM110 TURBO CL
検出感度：2×10-11～1×10-5atm・cm3…
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ゲートバルブ
HVA
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恒温恒湿槽
エスペック Espec PSL-2KPH
温度範囲：70℃～+100℃ 湿度範囲：20…
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ディスペンサーコントローラー
岩下エンジニアリング AD9000
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ロータリーポンプ
ライボルト Leybold SOGEVAC SV40-65 BIFC
到達圧力：0.05mbar 真空速度：40㎥…
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RF電源
DAIHEN DRFS-5SA
出力電力500W 出力周波数13.56MHz
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冷却水循環装置
オリオン機械 Orion RKED2200A-VW
型式：RKED2200A-VW
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電離真空計
アルバック Ulvac GI-TL3
型式：GI-TL3
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バイオクリーンベンチ
ESCO BCB-4E7
バイオテクノロジー、細胞培養、微…
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実体顕微鏡
ニコン Nikon C-PS
型式：C-PS
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イオンスパッタ装置
日本電子 Jeol JFC-1500
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スピンコーター
エイブル ASS-303
半導体ウエハ、ガラス基板、各種平…
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ドライポンプ
BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
型式：QDP40 到達圧力：5Pa
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オートファインコーター
日本電子 Jeol JFC-1600
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ターボ分子ポンプ
ALCATELアルカテル 5081
フランジ形状：（吸気側）ICF104 （…
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多関節産業ロボット
三菱電機 Mitsubishi RV-12SDC-S300
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恒温恒湿槽
アドバンテック Advantec THR040FA
温度範囲：室温+10℃~80℃ 湿度範囲：…
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パーティクルカウンター
ベックマンコールター BeckmanCoulter HHPC 2+
Particle Size Analysis Range：0.5…
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RF電源
アルバック Ulvac RFS-005
出力電力500W 出力周波数13.56MHz
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電離真空計
アネルバ ANELVA M-923HG
型式：M-923HG
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冷却水循環装置
EYELA 東京理化器械 CA-3110
型式：CA-3110
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ロータリーポンプ
エドワーズ Edwards E2M28
型式：E2M28
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