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ターボ分子ポンプ（TMP）
ターボ分子ポンプ 5081
ALCATELアルカテル 管理番号 MS-M230411A01
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仕様・詳細
| 機器名 | ターボ分子ポンプ |
|---|---|
| メーカー | ALCATELアルカテル |
| 型式 | 5081 |
| 仕様 | フランジ形状：（吸気側）ICF104 （排気側）NW25 ※コンローラー＆接続ケーブル セット品 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空ポンプ |
| 管理番号 | MS-M230411A01 |
| 掲載日 | 2026-08-29 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 排気速度 | 80(N2) L/s |
|---|---|
| 排気速度(ヘリウム) | 50 L/s |
| 排気速度(水素) | 40 L/s |
| 圧縮比 | N2 8×10⁷ / He 2,500 / H2 300 |
| 到達圧力 | 約5×10⁻⁹(メタルシール・2段油回転ポンプ使用時) mbar |
| 推奨補助ポンプ | 4 m³/h |
| 回転数 | 27,000 rpm |
| 起動時間 | 約1分45秒 |
| 冷却水 | 0.2〜1L/min(10〜20℃) |
| 質量 | 3(NW63・自然空冷) kg |
| コントローラー | CFV 100 |
出典: idealvac.com
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