コンプレッサー
八重崎空圧 PC3-10HL
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チラー
東京理化器械 Eyela CCA-1100
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マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-790C
ガス:BCL3 流量:200SCCM
¥30,000
タッチパネル
デジタル Degital Proface
¥30,000
電源
Tdk HWS300-24
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真空ポンプ
アルバック Ulvac DA-40S
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チラー
東京理化器械 Eyela CCA-1100
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マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-780C
ガス:He 流量:100SCCM
¥30,000
タッチパネル
デジタル Degital Proface
¥30,000
電源
Tdk HWS300-12/HD
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チラー
SMC HRS024-A-20B
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マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-780C
ガス:CHCL3 流量:20SCCM
¥30,000
タッチパネル
デジタル Degital Proface
¥30,000
電源
Tdk HWS150-12/A
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チラー
SMC HRS024-A-20B
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マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-790C
ガス:CL2 流量:100SCCM
¥30,000
チラー
SMC HRS024-A-20B
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マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-780C
ガス:CL2 流量:200SCCM
¥30,000
チラー
SMC HRS-30-A-20
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マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-780C
ガス:SF6 流量:200SCCM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-790C
ガス:SF6 流量:100SCCM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-770AC
ガス:SF6 流量:200SCCM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-770AC
ガス:CHF3 流量:100SCCM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-780C
ガス:CF4 流量:200SCCM
¥30,000
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