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マスフローコントローラー（MFC） FC-790C
Aera 管理番号 Z230331113
¥30,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラー（MFC） |
|---|---|
| ガス種 | BCl3 |
| 流量(フルスケール) | 200 SCCM |
| メーカー | Aera |
| 型式 | FC-790C |
| 仕様 | ガス:BCL3 流量:200SCCM |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z230331113 |
| 掲載日 | 2026-08-19 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| バルブ | 常閉(ノーマリクローズ) |
| 外部シール材 | メタルシール |
| 応答性 | 1秒以内(フルスケールの±2%まで) |
| 精度 | フルスケールの±1%以下 |
| 直線性 | フルスケールの±0.5%以下 |
| 繰り返し性 | フルスケールの±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰以下(He) atm·cc/sec |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 動作差圧 | 49〜275 kPa(d) |
| 出口側圧力 | 大気圧〜真空(0kPa(G)、0kPa(A)) |
| 耐圧力 | 981 kPa(g) |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
| 流量設定出力信号 | 0〜5VDC(オプションで0〜2.5mADC) |
| 駆動電源 | +15VDC±2% 25mA、-15VDC±2% 180mA |
出典: メーカー資料
ご購入の流れ
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商品ID: 7898
¥30,000
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