アライナー部品（ミラー・レンズ・チャック）10件
MASK CHUCK
for 5inch
¥800,000
WAFER CHUCK（Black）
for 5inch
¥1,000,000
WAFER DISK
for 5inch
¥1,000,000
輪帯球面ミラー
Y60-4040-000
MPA600FAb用
¥300,000
第3コンデンサーレンズ
BN9-5205-000
MPA600FAb用
¥300,000
G2ミラー（MPA600SUPER）
BF6-0591-050
MPA600FAb用
¥160,000
G2ミラー
BN9-8079-000
MPA600FAb用
¥120,000
G6ミラー
BN9-4444-030
MPA500FAb用
¥40,000
G4ミラー
BN9-4443-030
MPA500FAb用
¥60,000
G2, G5ミラー（誘電帯膜）
Y60-0349-000
MPA500FAb用
¥550,000
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