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アライナー部品（ミラー・レンズ・チャック）
G2ミラー（MPA600SUPER） BF6-0591-050
管理番号 Z26081805
¥160,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | G2ミラー（MPA600SUPER） |
|---|---|
| 型式 | BF6-0591-050 |
| 仕様 | MPA600FAb用 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 半導体関連 |
| 管理番号 | Z26081805 |
| 掲載日 | 2026-08-19 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 部品番号 | BF6-0591-050 |
|---|---|
| 種別 | 反射光学素子(ミラー) |
| 投影倍率(装置側) | 1:1 |
| 露光波長(装置側・二次情報) | 365(i線), 405(h線), 436(g線) nm |
| 光源(装置側・二次情報) | 2kW 超高圧水銀ランプ |
| 対応ウエハ径(装置側・二次情報) | 4, 5, 6 インチ |
| 光学系構成(装置側) | 台形ミラー・凹面ミラー・凸面ミラーの3種類 |
出典: semistarcorp.com、optronics-media.com
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商品ID: 7947
¥160,000
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