真空機器81件
イオンスパッタ装置
日本電子 Jeol JFC-1100E
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ドライエッチング装置
ナノテック NCP-400
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スパッタ装置
アネルバ ANELVA SPF-430H
基板サイズ：小片～最大4インチウェ…
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VUV真空キュア装置
TOSKY（トスキー） UVR-200
未来産業技研ではUV照射装置のSDGs…
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真空蒸着装置
日本電子 Jeol JEE-400
未来産業技研では真空蒸着機のSDGs…
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プラズマ処理装置
神港精機 POEM
平行平板型RIE方式のプラズマ表面処…
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プラズマCVD装置
ワイエス
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イオンクリーナー
日本電子 Jeol JIC-410
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イオンプレーティング装置
島津製作所 Shimadzu IP-400A
型式：IP-400A
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真空排気装置
アルバック Ulvac VPC-050
到達圧力：7.0×10-4 Pa 排気速度：5…
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真空凍結乾燥機
日本フリーザー BFD-6F2
トラップ温度：-50 ℃
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イオンスパッタ装置
日立 Hitachi E-1010
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スパッタ装置
アネルバ ANELVA L-250S-FH
DCスパッタ RFスパッタ EBスパッタ …
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イオンスパッタ装置
日本電子 Jeol JFC-1500
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イオンスパッタ装置
日立 Hitachi E-1030
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LPCVD
KOKUSAI ELECTRIC DJ-812V
カテゴリー:半導体中古装置（前工程…
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ECR プラズマ成膜装置
JSWアフティ EC-9600L
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スパッタリング装置
神港精機 SPZM6121
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イオンミリング
エヌエス M-18 TURBO 1001P
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スパッタリング
芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL
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スパッタリング装置
神港精機 SPZM6121
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エッチング装置
パナソニック Panasonic E620I
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蒸着装置
キヤノントッキ CME-70
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スパッタリング装置
キヤノンアネルバテクニクス C-7500L
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