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UVオゾンクリーナー
サムコ Samco 型式 UV-300 管理番号 SX-K004-0006
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仕様・詳細
| 機器名 | UVオゾンクリーナー |
|---|---|
| メーカー | サムコ Samco |
| 型式 | UV-300 |
| 仕様 | カテゴリー:半導体中古装置（前工程）, エッチング装置, アッシング装置 / 仕様（日本語）:"Φ370㎜、AL製 基板回転機構付き 基板加熱：室温~300℃ UVランプ：主波長253.7nm及び184.9nm ガス導入系：酸素(プロセス用)窒素(反応室内パージ用)" |
| 数量 | 1 |
| 管理番号 | SX-K004-0006 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 在庫情報の最終確認 | 2026-08-28 |
ご購入の流れ
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商品ID: 9735
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