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マスフローコントローラー（MFC）
マスフローコントローラ SEC-4400R
堀場エステック Stec 管理番号 AX-001057
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラ |
|---|---|
| メーカー | 堀場エステック Stec |
| 型式 | SEC-4400R |
| 仕様 | カテゴリー:電気部品 / 仕様（日本語）:ガス：Ar FLOW RATE： 100SCCM |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | AX-001057 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 現品銘板の型式 | SEC-4400R(HORIBA STEC) |
|---|---|
| 校正ガス | O2(酸素) |
| 流量(フルスケール) | 1000 SCCM |
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 0.985(N2基準) |
| バルブ型式 | ノーマリクローズ(銘板の VALVE 欄 C) |
| 接ガス部材質 | SUS-316L、バイトン(Rタイプ) |
| 流量制御範囲 | 2〜100%F.S. |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量精度 | ±1%F.S. |
| 直線性 | ±0.5%F.S. |
| 繰返性 | ±0.2%F.S. |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁸Pa·m³/s(He)以下(Rタイプ) |
| 耐圧 | 1000 kPa |
| 使用可能周囲温度 | 5〜50℃(精度保証15〜35℃) |
| 流量設定信号 | 0.1〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) |
出典: ircforall.net、メーカー資料
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商品ID: 9289
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