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マスフローコントローラー（MFC）
マスフローコントローラ SEC-Z511X
堀場エステック Stec 管理番号 AX-000201
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラ |
|---|---|
| メーカー | 堀場エステック Stec |
| 型式 | SEC-Z511X |
| 仕様 | カテゴリー:真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー / 仕様（日本語）:GAS N2 50SCCM |
| 年式 | 2018 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | AX-000201 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
|---|---|
| 精度 | ±1.0 %S.P.(25%F.S.超) |
| 応答 | 1 s以下 |
| 直線性 | ±0.5 %F.S.以下 |
| 繰返し性 | ±0.2 %F.S.以下 |
| 最大使用圧力 | 450 kPa(G) |
| 耐圧 | 1000 kPa(G) |
| 外部リーク | 5×10⁻¹² Pa·m³/s(He)以下 |
| 使用温度 | 5〜50 ℃ |
| 接ガス部材質 | SUS316L |
| 電源 | ±15V DC |
出典: static.horiba.com
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商品ID: 8411
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