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マスフローコントローラー（MFC） FC-260E
Aera 管理番号 Z2203170117
¥30,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラー（MFC） |
|---|---|
| ガス種 | N2 |
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
| メーカー | Aera |
| 型式 | FC-260E |
| 仕様 | 500SCCM/N2 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z2203170117 |
| 掲載日 | 2026-08-19 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| フルスケール流量範囲(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| 最小コントロールレンジ | フルスケールの2 % |
| 精度 | ±1(フルスケールに対し) % |
| 直線性 | ±0.5(フルスケールに対し) % |
| 繰り返し精度 | ±0.2(フルスケールに対し) % |
| セットポイントレスポンス | 6 秒 |
| コントロールバルブ | ノーマリーオープン サーマルバルブ |
| リークレート | 1×10^-9 atm·cc/sec He |
| 接ガス部材質 | SUS316L、サファイア、バイトン/ネオプレン/カルレッツ |
| 作動差圧 | 0.5〜2.8 kgf/cm2 |
| 耐圧 | 100 kgf/cm2 |
| 使用温度 | 5〜43 ℃ |
| 電源 | ±15±4%(25/180mA MAX) VDC |
| 設定/出力信号 | 0〜5 VDC |
| 配管継手 | 1/8SW、1/4SW、VCR、VCO |
出典: メーカー資料
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商品ID: 7882
¥30,000
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