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マスフローコントローラー（MFC） FC-260J
Aera 管理番号 Z21080210
¥30,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラー（MFC） |
|---|---|
| ガス種 | SiH4 |
| 濃度 | 5 % |
| 希釈ガス | N2 |
| 流量(フルスケール) | 3 SLM |
| 外形寸法 | W130 D25 H110 mm |
| メーカー | Aera |
| 型式 | FC-260J |
| 仕様 | ガス5%SiH4／N2 流量3SLM W130 D25 H110 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z21080210 |
| 掲載日 | 2026-08-19 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| 流量制御範囲 | フルスケールの2〜100 % |
| バルブ | 常開(NO) |
| コントロールバルブ形式 | ノーマリーオープン サーマルバルブ |
| セットポイントレスポンス | 6 秒 |
| 精度 | フルスケールの±1 % |
| 直線性 | フルスケールの±0.5 % |
| 繰り返し精度 | フルスケールの±0.2 % |
| リークレート | 1×10⁻⁹ atm·cc/sec(He) |
| 材質(接ガス面) | SUS316L、サファイア、バイトン、ネオプレン又はカルレッツ |
| 取付方向 | 自由 |
| 作動圧 | 0.5〜2.8 kg/cm² |
| 耐圧 | 100 kg/cm² |
| 圧力影響 | 0.007 %/PSI |
| 使用温度 | 5〜43 ℃ |
出典: メーカー資料
ご購入の流れ
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商品ID: 7864
¥30,000
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